无光罩雷射直写曝光机
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无光罩雷射直写曝光机可用于半导体主被动元件、光电显示器、背光模组上，也可用于其他太阳能电池、LED等产品的制程。
无光罩雷射直写曝光机是集机械、电子光学、电气、真空、计算机技
无光罩雷射直写曝光机可用于半导体主被动元件、光电显示器、背光模组上，也可用于其他太阳能电池、LED等产品的制程。
无光罩雷射直写曝光机是集机械、电子光学、电气、真空、计算机技术等于一体的精密半导体加工设备。利用聚焦电子束对有机聚合物进行曝光，受电子束辐照区域的光刻胶，化学性质会产生变化，形成良溶或非良溶区域，由此在抗蚀剂上形成精细图形。
应用范围：
1) 触控面板、2) 印刷电路板、3) 半导体、4) 光罩制作、5) R&D
