F50 系列

自動化薄膜測繪

Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平台可接受標準和客制化夾盤，樣品直徑可達450毫米。(耐用的平台在九洲的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創造自己的測繪方法，並且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

不同的F50 儀器是根據波長范圍來加以區分的。標準的F50是最受歡迎的產品。一般較短的波長(例如， F50-UV) 可用於測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的內容：

• 集成光譜儀/光源裝置
• 光纖電纜
• 4", 6" and 200mm 參考晶圓
• TS-SiO2-4-7200
• BK7 參考材料
• 整平濾波器(用於高反射基板)
• 真空泵
• 備用燈

型號規格