F54

自動化薄膜測繪

Filmetrics F54 系列的產品能以一個電動R-Theta 平台自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米

可選擇數十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數量限制之測量點.僅需具備基本電腦技能的任何人可在數分鐘內自行建立配方

F54 自動化薄膜測繪只需聯結設備到您運行Windows™系統計算機的USB端口, 可在幾分鐘輕鬆設置

不同的型號主要是由厚度和波長范圍作為區別。通常較薄的膜需要較短波長作測量(如F54-UV) 用來測量較薄的膜,而較長的波長可以用來測量更厚，更粗糙，或更不透明的薄膜

包含的內容：

• 集成光譜儀/光源裝置
• MA-Cmount 安裝轉接器
• 光纖連接線
• BK7 參考材料
• TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標準
• 4", 6" and 200mm 參考晶圓
• 真空泵
• 備用燈

型號規格