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九洲科技股份有限公司
Manual Programmable Coater

可程式旋轉塗佈機
落地型薄膜控制旋轉塗佈機

Manual Programmable Coater

商品編號：如圖

設備概要：

適用尺寸：2”~ 12”Wafer基材。

  • 外觀材質：PP 板組合焊接而成，耐酸鹼侵蝕。
  • 操作盆罩：SUS製，圓盆型設計。
  • 盆罩掀蓋：分離式透明 PVC 上蓋。
  • 吸盤規格：一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
  • 操作方式：手動直接輸入。
  • 入料方式：手動給料。
  • 液體種類：光阻劑、溶劑。
  • 馬達：AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)。
  • 含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
  • 真空滲液保護：有，間接式防護設計。
  • 真空簡檢知：有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
  • 保護裝置：有。
  • 保護制御：有一本裝置的全部狀態，異常檢出。
  • 控制系統：-軟體：PLC。
  • 真空表頭：可顯示設定值與實際值。
  • 使用操作介面：彩色觸控面板。
  • 配方模組：100組配方設定。
  • 段方步序：每一配方模組均設30段步序。
  • 操控方式：中文彩色觸控人機介面系統操作介面，並有主軸轉速曲線圖。
  • 電源：單相220V，10A。
  • 附操作手冊一份
 
  • 1.光阻自動供料系統
  • 2.自動供料擺臂
  • 3.熱板(HOT PLATE)
  • 4.洗邊裝置(EBR)
  • 5.背洗裝置(BSR)
  • 6.廢液回收桶裝置

基本規格

  • 外觀材質：PP 板組合焊接而成，耐酸鹼侵蝕。
  • 操作盆罩：SUS製，圓盆型設計。
  • 盆罩掀蓋：分離式透明 PVC 上蓋。
  • 吸盤規格：一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
  • 操作方式：手動直接輸入。
  • 入料方式：手動給料。
  • 液體種類：光阻劑、溶劑。
  • 馬達：AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)。
  • 含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
  • 真空滲液保護：有，間接式防護設計。
  • 真空簡檢知：有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
  • 保護裝置：有。
  • 保護制御：有一本裝置的全部狀態，異常檢出。

電控系統

  • 控制系統：-軟體：PLC。
  • 真空表頭：可顯示設定值與實際值。
  • 使用操作介面：彩色觸控面板。
  • 配方模組：100組配方設定。
  • 段方步序：每一配方模組均設30段步序。
  • 操控方式：中文彩色觸控人機介面系統操作介面，並有主軸轉速曲線圖。
  • 電源：單相220V，10A。
  • 附操作手冊一份
 

選配功能

  • 1.光阻自動供料系統
  • 2.自動供料擺臂
  • 3.熱板(HOT PLATE)
  • 4.洗邊裝置(EBR)
  • 5.背洗裝置(BSR)
  • 6.廢液回收桶裝置