九洲酷游·BET9

落地型薄膜控制旋转涂布机

落地型薄膜控制旋转涂布机

商品编号:AGS3012A

涂布范围:2”~ 12”L 1000mm x D 800mm x H 1800mm

设备概要:

适用尺寸:2”~ 12”Wafer基材。

基本规格:

  • 外观材质:PP 板组合焊接而成,可以耐酸碱侵蚀。
  • 操作盆罩:SUS制,圆盆型设计。
  • 盆罩掀盖:分离式透明 PVC 上盖。
  • 吸盘规格:一组铝制吸盘精密研模阳极保护。
  • 操作方式:手动直接输入。
  • 入料方式:手动给料。
  • 液体种类:光阻剂,溶剂。
  • 马达:AC Servo Motor(转速:10~6000 RPM)。
  • 含真空帮浦 (附 PP 防尘外罩)。
  • 真空渗液保护:有,间接式防护设计。
  • 真空简检知:有(可数位设计真空值 kpa 下限保护)。
  • 保护装置:有。
  • 保护制御:有一本装置的全部状态,异常检出。
  • 电控系统:-软体:PLC。
  • 使用操作介面:中文彩色触控面板。
  • 配方模组:30组配方设定。
  • 段数设定:每一配方模组均设30段段数。